Juin 2007 - n°122
Besançon : TEMIS Innovation, MIMENTO et TEMIScience…
Il y a un an, nous vous avions présenté TEMIS Innovation
– Maison des Microtechniques (voir notre article dans la Gazette n°
107 de février 2006) qui a bien évolué depuis. L’Institut
FEMTO-ST (Franche-Comté Electronique Mécanique Thermique et
Optique – Sciences et Technologies), lancé en janvier 2004 par
la fusion de 5 laboratoires, réunit aujourd’hui 350 chercheurs,
ingénieurs et techniciens et a reçu le Label Carnot depuis mars
2006. En son sein, il abrite une centrale technologique unique en France :
MIMENTO. Toutes ces structures devraient se regrouper prochainement autour
d’un projet-phare baptisé TEMIScience…
MIMENTO
400 m2 de salle blanche bientôt doublés, 15 ingénieurs
et techniciens, 54 projets internes, 8 millions d’euros d’équipements
technologiques…La Centrale de Technologie MIMENTO (Microfabrication
pour la Mécanique, les Nanosciences, la Thermique et l’Optique)
de FEMTO-ST fait partie du réseau national des grandes centrales technologiques
pour la Recherche Technologique de Base (RTB). Ce réseau regroupe six
centrales nationales de microfabrication et a pour but de soutenir l’ensemble
de la recherche institutionnelle française en mettant à disposition
ses équipements et compétences auprès des centres de
recherche utilisateurs.
Unique en France et à visée européenne, cette centrale
basée à TEMIS Innovation – Maison des Microtechniques,
s’organise autour de 3 modules complémentaires :
- Module de recherche fondamentale en nanotechnologie
Il compte des équipements de nano-gravure,
de nano-lithographie et de nano-caractérisation (usinage FIB, e-beam,
silicium poreux, nano-indenteur).
- Module de microfabrication-salle blanche (400
m2 centralisés dans TEMIS INNOVATION- Maison des Microtechniques
dont 100 m2 destinés aux industriels locaux)
Il dispose de plusieurs filières complètes de réalisation
de micro-dispositifs.
Microfabrication tridimensionnelle (gravure chimique, DRIE, LIGA)
Microfabrication sur matériaux piézo-électriques (quartz,
AIN, LiNbO3, piézo-composites)
Micromécanique hybride (avec le CTMN, silicium combiné à
la micromécanique)
- Module « Atelier pilote »
Il s’agit d’un ensemble d’équipements
mutualisés à vocation recherche/industrie. Ce « parc de
machines » permet aux chercheurs de bénéficier d’équipements
de dernière génération, achetés, loués
ou prêtés. Appelé dans le monde anglo-saxon « manufacturing
center », l’atelier pilote est destiné au soutien de la
recherche et des entreprises locales en quête de technologies innovantes.
Par exemple, Mimento a fait l’acquisition d’une centrale d’usinage
laser en régime femtoseconde. Ce type de système permet d’ores
et déjà de réaliser des structures précises (de
l’ordre de la dizaine de microns) dans une grande variété
de matériaux (métaux, verres, semiconducteurs, céramiques)
pour une large gamme d’applications (composants optiques actifs et passifs,
micromécanique).
Les activités de recherche au sein de l’atelier pilote ont 3
objectifs :
- faire progresser les connaissances théoriques en optique ultrarapide
;
- améliorer les performances (temps de production, finesse) en usinage
femtoseconde, développer de nouveaux outils de caractérisation
et de contrôle d’usinage laser ;
- soutenir la recherche dans d’autres domaines par la réalisation
de composants adaptés.
TEMISscience
Il s’agit de l’un des 10 projets phares du Contrat de Projets
Etat-Région 2007 -2013. Il vise à réunir sur un même
lieu géographique, au cœur de la technopole TEMIS, tous les départements
bisontins de recherche de l’Institut FEMTO-ST ainsi que ses locaux de
direction et ses services communs, à proximité immédiate
de sa plate-forme technologique (Centrale MIMENTO) située au sein de
la Maison des Microtechniques. Tout cela devrait constituer un ensemble cohérent,
visible et efficace.
Ce regroupement implique d’une part la construction d’un bâtiment
de recherche d’environ 7 500 m2 pour abriter les structures
de FEMTO-ST… D’autre part, il prévoit simultanément
l’extension de la salle blanche de 400 m2 en plus de celle
qui est opérationnelle dans la Maison des Microtechniques.
Où en est TEMIS Innovation – Maison des Microtechniques ?
Cette structure de 6 500 m2, ouverte depuis décembre 2005,
vient de fêter son premier anniversaire d’existence et arbore
fièrement un taux d’occupation de 90 %.
Environ 7 jeunes pousses y sont en incubation, 17 sociétés occupent
la pépinière et l’Hôtel d’entreprises, et
le Pôle des Microtechniques, la Direction de la Valorisation de l’Université
de Besançon et FEMTO-ST s’y sont installés… Plus
de 100 personnes travaillent maintenant à TEMIS Innovation pour faire
le lien entre recherche et industrie.
Aujourd’hui, cette structure est devenue l’espace emblématique
de la dynamique, de la mise en synergie des savoir-faire, des compétences
et de l’esprit d’entreprise du Grand Besançon, et plus
largement de toute la région.
MH