La nouvelle génération d’ellipsomètre spectroscopique UVISEL Plus d’HORIBA Scientific destiné aux mesures d’épaisseur de couches minces et de constantes optiques est doté d’une nouvelle technologie d’acquisition, FastAcq™.
Basée sur une double modulation de phase et un monochromateur plus rapide, la technologie FastAcq™ permet de réaliser une mesure spectroscopique dans la gamme 190-2100 nm « en moins de 3 minutes, à très haute résolution ». Grâce à sa conception sans éléments tournants, ni composants supplémentaires sur le trajet optique, l’ellipsomètre UVISEL à modulation de phase « est reconnu pour fournir la modulation de polarisation la plus pure et la plus performante ». Les capacités supérieures du modulateur photo-élastique permettent des mesures ellipsométriques plus précises, notamment nécessaires pour les couches transparentes déposées sur substrat de verre.
La conception modulaire et évolutive de l'UVISEL Plus offre plusieurs tailles de microspot dédié aux échantillons à motif jusqu'à 50 μm, un angle d’incidence variable de 40 à 90°, une cartographie automatique et une variété d'accessoires. Les futures évolutions du système sont simples à mettre en œuvre, permettant de répondre à un grand nombre d’applications et de moyens budgétaires. La gamme spectrale de 190 à 2100 nm est couverte par deux configurations de l’UVISEL Plus : 190-920 nm et une extension NIR jusqu'à 2100 nm. Piloté par la plateforme logicielle DeltaPsi2, l’UVISEL Plus est le système idéal pour la recherche appliquée en sciences des matériaux convenant à tous les utilisateurs, débutants ou experts.
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