Quorum Technologies dévoile sa nouvelle génération de métalliseurs grande chambre avec les DuoQ et TriQ, qui succèdent à la série Q300. Conçus pour le dépôt contrôlé de couches minces, ces nouveaux systèmes associent automatisation, précision et flexibilité pour répondre aux besoins de la préparation d’échantillons en microscopie électronique et de la fabrication de matériaux.
Le DuoQ est un métalliseur à double tête de pulvérisation cathodique, particulièrement adapté aux dépôts multicouches. Sa configuration permet de réaliser des dépôts séquentiels sous vide sans interrompre le processus, offrant ainsi davantage de flexibilité pour les applications nécessitant plusieurs matériaux.
Le TriQ, équipé de trois têtes de pulvérisation, est quant à lui conçu pour les applications à haut débit et le traitement de grandes surfaces. Il assure un dépôt homogène sur des échantillons pouvant atteindre 8 pouces (200 mm) de diamètre, grâce notamment à ses platines planétaires optimisées.
Les deux systèmes bénéficient des dernières évolutions technologiques de Quorum : pompage turbomoléculaire haute performance, contrôle automatisé, Film Thickness Monitor (FTM) intégré, écran tactile couleur, indicateur LED multicolore et recettes préprogrammées ou personnalisables. Ces fonctionnalités permettent de maîtriser précisément l’épaisseur des couches déposées tout en garantissant une excellente reproductibilité des procédés.
Avec les DuoQ et TriQ, Quorum fait évoluer sa gamme grande chambre en proposant des solutions plus intuitives et polyvalentes pour un dépôt de couches minces précis, homogène et reproductible.
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